一种深紫外光学元件稳定性的综合测试方法
- 申请号：CN201010623885.2
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN102175427A
- 公开(公开)日：2011.09.07
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种深紫外光学元件稳定性的综合测试方法 | ||
| 申请号 | CN201010623885.2 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102175427A | 公开（授权）日 | 2011.09.07 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李斌成 |
| 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种深紫外光学元件稳定性的综合测试方法 至一种深紫外光学元件稳定性的综合测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种深紫外光学元件稳定性的综合测试方法，采用激光量热技术测量深紫外光学元件的吸收损耗绝对值并对光热信号幅值定标，采用光热技术监视深紫外光学元件在深紫外激光照射过程中深紫外光学元件吸收损耗的实时变化，采用激光诱导荧光技术测量深紫外光学元件在深紫外激光照射过程中的荧光光谱及其实时变化，通过测量深紫外光学元件在深紫外激光照射过程中吸收损耗和荧光光谱的实时变化监测深紫外光学元件性能的稳定性。 | ||
交易流程
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专利 -
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