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六自由度精密定位工作台

  • 申请号:CN200520040058.5
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN2782326
  • 公开(公开)日:2006.05.24
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 六自由度精密定位工作台
申请号 CN200520040058.5 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN2782326 公开(授权)日 2006.05.24
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王勇;刘志刚;薄锋;朱健强
主分类号 B25H1/02(2006.01) IPC主分类号 B25H1/02(2006.01);G12B5/00(2006.01)
专利有效期 六自由度精密定位工作台 至六自由度精密定位工作台 法律状态 授权
说明书摘要 一种六自由度精密定位工作台,它由上下两层平 台连接而成,其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导 向机构,采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的 转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接,采用三组等 边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰链实现一个方向的 平动和两个方向的转动。驱动单元采用压电陶瓷致动器,使位 移输出分辨率和定位精度高,频率响应快,无机械摩擦,且机 构定位可以实现补偿。本实用新型可实现纳米级的定位精度。

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