专利详情

专利名称	针尖扫描的光点跟踪装置
申请号	CN200420110605.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2751298	公开（授权）日	2006.01.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司	发明（设计）人	杨金涛;徐文东;吉小明
主分类号	G01N13/16(2006.01)	IPC主分类号	G01N13/16(2006.01);G12B21/08(2006.01)
专利有效期	针尖扫描的光点跟踪装置至针尖扫描的光点跟踪装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本实用新型装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。