专利详情

专利名称	镀膜夹具控制装置
申请号	CN200420110959.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2748474	公开（授权）日	2005.12.28
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王建国;洪瑞金;邵建达;范正修
主分类号	C23C14/54	IPC主分类号	C23C14/54;C23C14/50;C23C14/24
专利有效期	镀膜夹具控制装置至镀膜夹具控制装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种镀膜夹具控制装置，其组成是：一计算机由总线与I/O扩展槽连接后，该I/O扩展槽再连接到开关量功放输出板，该开关量功放输出板分两路输出，一路通过第二步进电机驱动器与第二步进电机相连，一直角形夹具座的一钢板固定在第二步进电机的转轴上，另一路通过第一步进电机驱动器与第一步进电机相连，该第一步进电机固定地安装在所述的夹具座另一钢板上，该第一步进电机的转轴上固定所述的夹具，所述的第一步进电机驱动器和第二步进电机驱动器的电源由驱动器负载电源提供，所述的开关量功放输出板的电源由板卡负载电源提供。本实用新型通过计算机对步进电机的精确控制，可实现夹具的运动的三维运动，可以满足斜入射角沉积技术的要求。