专利详情

专利名称	双环路二维剪切干涉检测装置
申请号	CN200420090572.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2739599	公开（授权）日	2005.11.09
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	朋汉林;林礼煌;徐宏玮;冷雨欣
主分类号	G01J9/00	IPC主分类号	G01J9/00;G01J1/00;G02B27/26;G01M11/02
专利有效期	双环路二维剪切干涉检测装置至双环路二维剪切干涉检测装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种双环路二维剪切干涉检测装置，其构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45°置放的第一分光镜、135°置放的第二分光镜及90°置放的第二全反射镜，在第二反射镜的反射光路上设置第一全反射镜，且该第一全反射镜的反射光正好以45°入射第二分光镜，其透过光方向有第一 CCD，在第一分光镜的反射光路上且成45°地置放第三分光镜、成135°置放第三全反射镜，在该第三全反射镜的反射光路上设置第四全反射镜，在该第四全反射镜的反射光正好以45 °入射第三分光镜，其透射光方向有第二CCD，所述的第一 CCD和第二CCD的输出通过一个图象采集卡同时连接到同一台计算机，所述的第一CCD和第二CCD之间由一个外触发信号同步。