模块化原子力显微镜
- 申请号：CN200420082610.2
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司
- 公开(公开)号：CN2733342
- 公开(公开)日：2005.10.12
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 模块化原子力显微镜 | ||
| 申请号 | CN200420082610.2 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2733342 | 公开（授权）日 | 2005.10.12 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司 | 发明（设计）人 | 徐文东;杨金涛;吉小明 |
| 主分类号 | G01N13/16 | IPC主分类号 | G01N13/16 |
| 专利有效期 | 模块化原子力显微镜 至模块化原子力显微镜 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第 一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步 近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖 和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有 调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探 测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本实 用新型模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又 很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功 能。 | ||
交易流程
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