专利详情

专利名称	完全光纤探针扫描式近场光学显微镜
申请号	CN200420090065.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2729693	公开（授权）日	2005.09.28
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	周飞;徐文东;干福熹
主分类号	G01N13/14	IPC主分类号	G01N13/14;G01N21/84
专利有效期	完全光纤探针扫描式近场光学显微镜至完全光纤探针扫描式近场光学显微镜	法律状态	授权
说明书摘要	一种完全光纤探针扫描式近场光学显微镜，包括激光照明系统、监视系统、样品架、光纤探针扫描机构、三维粗调装置、反馈控制及数据采集系统，基本构思是：将光纤探针固定在音叉上，通过三维扫描器，带动音叉上的光纤探针在样品表面附近进行扫描。当光纤探针逼近样品表面时，光纤探针受到来自样品表面原子剪切力的作用。这个力将改变音叉的震动，从而可以解调出探针与样品之间的距离信息。将该信息反馈给Z向控制系统，以使光纤探针到样品表面的距离保持一恒定值。这一反馈信息反映样品表面的形貌。光纤探针收集到的光的强度给出了样品的透过率。本实用新型具有扫描范围大、不受样品大小限制、高度模块化、方便组合变换等优点。