专利详情

专利名称	双磁辅助式管状工件内表面改性装置
申请号	CN200320130380.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2670377	公开（授权）日	2005.01.12
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	杨思泽;张谷令;王久丽;刘元富
主分类号	C23C14/48	IPC主分类号	C23C14/48
专利有效期	双磁辅助式管状工件内表面改性装置至双磁辅助式管状工件内表面改性装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种提高管状工件内部的气体离化率，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间连接一负高压电源，还包括一个使管状工件和管状电极产生相对转动的驱动装置；所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面上的电极丝构成，该电极丝呈周向均匀分布，或呈螺旋式分布；所述柱状电极为中空管，管中放置磁铁；所述的管状电极为连通的中空的金属管。所述磁铁呈环状，磁铁与磁铁之间同极相对地沿轴向均匀布置。本实用新型通过在柱状电极中放置磁铁加强等离子体对中心电极材料的溅射，提高管状工件内表面加工的效率。