反射蝇眼式光束均匀器
- 申请号：CN200320109295.3
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN2655260
- 公开(公开)日：2004.11.10
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 反射蝇眼式光束均匀器 | ||
| 申请号 | CN200320109295.3 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2655260 | 公开（授权）日 | 2004.11.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;凌磊 |
| 主分类号 | G02B5/09 | IPC主分类号 | G02B5/09;G02B5/10;G02B27/14;H01S3/00 |
| 专利有效期 | 反射蝇眼式光束均匀器 至反射蝇眼式光束均匀器 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器， 其特征是将n2 (n为正整数)小块 方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n ×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜 列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出 方向垂直于输出光束设置一透镜组成。每小块方形的镀有全反 膜的凹面镜具有相同的曲率半径。本实用新型的反射蝇眼式光 束均匀器，具有加工难度小，对加工材料要求不高，价格低廉， 全反膜的损耗也很小。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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