专利详情

专利名称	基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置
申请号	CN03209960.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2655175	公开（授权）日	2004.11.10
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张彩妮;王向朝
主分类号	G01B11/26	IPC主分类号	G01B11/26;G01B9/02;H01S5/00;H01L33/00
专利有效期	基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置至基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置，它包含有带驱动电源的调制光源，沿着该调制光源发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜和反射镜，在反射镜的反射光束的前进方向上置有待测物体，在该待测物体反射光的前进方向上置有F－P板和分束镜，该分束镜的端口b透射光束方向上置有透镜和光电转换元件，该光电转换元件与连接计算机的模数转换元件相连，在该分束镜的端口c反射光束方向上置有CCD图像探测器，该CCD图像探测器与连接计算机的模数转换元件相连。