专利详情

专利名称	一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
申请号	CN201110200460.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102328906A	公开（授权）日	2012.01.25
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	徐恒泳;唐春华;孙剑;董恩宁;侯守福
主分类号	C01B3/56(2006.01)I	IPC主分类号	C01B3/56(2006.01)I
专利有效期	一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法至一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜氢气纯化器，对三氯氢硅还原循环氢气进行提纯处理，其中第一组金属钯复合膜氢气纯化器相对较大，提纯处理的超纯氢气(H2纯度＞99.9999％)返回还原炉，用于三氯氢硅还原的原料气，而第二组氢气纯化器相对较小，提纯处理的高纯氢气(H2纯度-99.999％)去冷氢化工段作为原料气。该方法提纯处理循环氢气的回收率可以达到99％。当循环氢气中氯化氢含量较高时，需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅，可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量，具有明显的节能减排效应。