
一种三轴罗茨真空泵
- 申请号:CN201010565609.5
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
- 公开(公开)号:CN101985935A
- 公开(公开)日:2011.03.16
- 法律状态:著录事项变更
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专利详情
专利名称 | 一种三轴罗茨真空泵 | ||
申请号 | CN201010565609.5 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN101985935A | 公开(授权)日 | 2011.03.16 |
申请(专利权)人 | 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明(设计)人 | 刘坤;巴德纯;岳向吉;李培印;王光玉;张振厚 |
主分类号 | F04C25/02(2006.01)I | IPC主分类号 | F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I |
专利有效期 | 一种三轴罗茨真空泵 至一种三轴罗茨真空泵 | 法律状态 | 著录事项变更 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点,能实现较大的抽气速率。 |
交易流程
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