专利详情

专利名称	一种掺氮碳纳米管的制备方法
申请号	CN201110286947.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102352490A	公开（授权）日	2012.02.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	夏洋;饶志鹏;万军;刘键;李超波;陈波;黄成强;石莎莉;李勇滔
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	一种掺氮碳纳米管的制备方法至一种掺氮碳纳米管的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及碳纳米管的制备技术，具体涉及一种掺氮碳纳米管的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；在所述硅衬底表面生长一层镍金属；向所述原子层沉积设备反应腔中通入碳氢物质，通过等离子体放电，形成碳原子，所述碳原子自发积累在所述镍金属表面形成碳纳米管结构；向所述原子层沉积设备反应腔中通入含氮物质，通过等离子体电离所述含氮物质，使得含氮物质的氮原子掺入碳纳米管结构内部和表面，形成掺氮碳纳米管。本发明不仅能够通过ALD设备制备出碳纳米管，而且通过等离子体辅助，能够实现氮原子的掺杂，且薄膜结构完整，含氮量较容易控制，方法简单，可广泛采用。