专利详情

专利名称	一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法
申请号	CN201110180049.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102347518A	公开（授权）日	2012.02.08
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;周建华;王伟;刘正新
主分类号	H01M10/46(2006.01)I	IPC主分类号	H01M10/46(2006.01)I;H01M10/058(2010.01)I
专利有效期	一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法至一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种高体积比能量微能源系统及制作方法，其特征在于所述的系统由a)用金刚石钻头在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在Al背面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖电池多层膜的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、i型GexSi1-x，0＜x＜1，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。采用方法为溅射沉积方法，制作微能源系统体积比能量密度大于291.9W/L，为物联网节点微型化、便携性、长时供电及野外应用提供技术手段。