液相外延生长薄膜的衬底夹具
- 申请号：CN03228088.2
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN2594282
- 公开(公开)日：2003.12.24
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 液相外延生长薄膜的衬底夹具 | ||
| 申请号 | CN03228088.2 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2594282 | 公开（授权）日 | 2003.12.24 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 赵广军;何晓明;徐军;王海丽;刘军芳 |
| 主分类号 | C30B19/12 | IPC主分类号 | C30B19/12 |
| 专利有效期 | 液相外延生长薄膜的衬底夹具 至液相外延生长薄膜的衬底夹具 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹其，其特征 在于它是由一衬底夹盘的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆 构成，该衬底夹盘的底面设有半圆弧形包边形成一衬底定位 腔，与该半圆弧形包边相对在该衬底夹盘上设有定位通孔，该 连接杆上端还设有一通孔。本实用新型的液相外延薄膜生长衬 底夹具使衬底在溶液中可作高速旋转，既能起到搅拌作用，使 衬底周围各处溶液浓度更趋于平衡和均匀，又可解决温场不均 匀带来的生长差异。本实用新型液相外延薄膜生长的衬底夹具 结构简单，安装方便，使用可靠。 | ||
交易流程
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