专利详情

专利名称	温控可充气真空辐射设备
申请号	CN201110252532.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102339655A	公开（授权）日	2012.02.01
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	曾传滨;毕津顺;刘刚;罗家俊;韩郑生
主分类号	G21K5/00(2006.01)I	IPC主分类号	G21K5/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I
专利有效期	温控可充气真空辐射设备至温控可充气真空辐射设备	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种在电子元器件辐射实验中使用的温控可充气真空辐射设备，包括：限定了辐照腔的罩体；携载电子元器件容装在辐照腔内的器件盘；可开闭的封盖结构，其连接于罩体的开口端，以在闭合时气密密封辐照腔；固定于封盖结构的线缆接头；温控系统，其包括辐照腔内的温控板以及穿过封盖结构的冷媒输入和排出管路，温控板的冷媒腔室经冷媒输入和排出管路接收和排出冷媒，其电加热装置电连接到线缆接头；以及抽空充气系统，其包括穿过封盖结构的抽空充气管路和辐照腔外的第一阀门装置，以经该阀门装置和抽空充气管路对辐照腔抽空或充气。本发明的辐射设备可为电子元器件辐射实验准确提供各种温度、气体成分环境，有利满足了电子元器件辐射效应研究的需求。