专利详情

专利名称	一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统
申请号	CN201210264944.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102955371A	公开（授权）日	2013.03.06
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	卢亮;张海波;廖志杰;林妩媚;邢廷文;甘大春;何毅
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统至一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固定多根不同口径比的匀光棒，装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；所述控制装置由高精度旋转台驱动；中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。