专利详情

专利名称	大功率微波等离子体炬
申请号	CN02281293.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2582330	公开（授权）日	2003.10.22
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	杨永进;张劲松;徐兴祥
主分类号	H05H1/46	IPC主分类号	H05H1/46;H01P5/00
专利有效期	大功率微波等离子体炬至大功率微波等离子体炬	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种大功率微波等离子体炬，包括可调谐同轴谐振腔、矩形波导，所述矩形波导内设波导/同轴转换装置，所述波导/同轴转换装置为门扭块和介质单线上下扣合的门扭结构，所述波导/同轴转换装置分别与矩形波导上下表面紧密接触连接，所述可调谐同轴谐振腔由位于波导上下两侧并与波导/同轴转换装置同轴的上腔、下腔，以及波导/同轴转换装置共同构成，内导体一端插装于下腔，另一端依次贯穿介质单线、门扭块、上腔，上腔的内外导体之间沿轴线方向设有谐振腔短路活塞，所述矩形波导一端设有微波源，另一端设有波导短路活塞。本实用新型解决了激发维持机构复杂、调节不方便、功率水平低等问题，可应用于气相化学反应、材料的合成和加工等。