专利详情

专利名称	一种PECVD喷淋电极
申请号	CN201210514034.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102978589A	公开（授权）日	2013.03.20
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲;陈静伟;闫宝军
主分类号	C23C16/50(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种PECVD喷淋电极至一种PECVD喷淋电极	法律状态	授权
说明书摘要	一种PECVD喷淋电极，所述的电极（5）外形为圆桶形，上部有开口，下部有底；电极（5）的内部空间被带有通孔的初级气体匀气板（2）分成上下两部分，下部空间为初级气体缓冲室（1），上部空间为二级气体缓冲室（3）。初级气体缓冲室（1）内有一用于调整初级气体缓冲室体积的调整环（8），调整环（8）的下表面与电极（5）的底完全接触，调整环（8）的上表面与初级气体匀气板（2）完全接触。电极（5）上部的开口处有一带有通孔的二级气体匀气板（4），用以封闭开口；位于电极底的中心位置开有一进气口，进气口下连接有进气管。本发明通过改变初级气体匀气板与二级气体匀气板流导比实现喷淋效果。