专利详情

专利名称	测温结点悬浮的薄膜热电偶
申请号	CN02240535.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2578988	公开（授权）日	2003.10.08
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	周一欣;刘静
主分类号	H01L35/00	IPC主分类号	H01L35/00;G01K7/02
专利有效期	测温结点悬浮的薄膜热电偶至测温结点悬浮的薄膜热电偶	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种测温结点悬浮的薄膜热电偶，包括由固体绝缘材料制做的永久性基底，热电偶薄膜和热电偶薄膜，热电偶薄膜和热电偶薄膜分别镀覆于永久性基底的表面上，其相重叠的测温结点与永久性基底表面不接触，呈悬浮状；测温结点悬浮于永久性基底的上方或一侧，永久性基底材质为陶瓷、硅片、玻璃或有机聚合物；形状为薄片、细管或细杆形状；热电偶薄膜厚度为1纳米－0.1毫米，其材质为相配对的金属材料；配对材料为铂铑－铂、镍铬－康铜、半导体或金属氧化物；该测温结点悬浮的薄膜热电偶，由于测温的结点与永久性基底相脱离，形成悬空或悬臂结构，因此可以显著减小结点的热惯性，提高对所测量对象温度变化的响应速率。