金刚石膜气体检测传感器
- 申请号:CN02244312.6
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号:CN2566267
- 公开(公开)日:2003.08.13
- 法律状态:授权
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专利详情
专利名称 | 金刚石膜气体检测传感器 | ||
申请号 | CN02244312.6 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN2566267 | 公开(授权)日 | 2003.08.13 |
申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 顾长志;贾继奎;刘维;窦艳 |
主分类号 | G01N27/04 | IPC主分类号 | G01N27/04;G01N27/12 |
专利有效期 | 金刚石膜气体检测传感器 至金刚石膜气体检测传感器 | 法律状态 | 授权 |
说明书摘要 | 本实用新型涉及一种包含金刚石膜/纳米金刚石 膜,用于检测气体的传感器。该传感器包括:衬底、在衬底的 一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜;其特征在于:在金刚 石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极,Au丝测 量引线连接在其上;在衬底的另一面制作一金属加热电阻,加 热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。本实用新型的金刚 石膜/纳米金刚石膜气体传感器具有高选择性,高灵敏度,快速 的响应与恢复,良好的一致性及耐高温和抗辐射等高稳定性的 优点,同时具有工艺简单,便于集成化的特点,因而适于大批 量、低成本生产。 |
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