专利详情

专利名称	采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法
申请号	CN201110093370.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102181921A	公开（授权）日	2011.09.14
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王晓峰;段垚;崔军朋;曾一平
主分类号	C30B25/02(2006.01)I	IPC主分类号	C30B25/02(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I
专利有效期	采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法至采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，包括：在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。本发明的优点是不需要插入缓冲层，不需要对衬底进行特别的预处理，操作简便，重复性好。