专利详情

专利名称	一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法
申请号	CN201110056408.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102179000A	公开（授权）日	2011.09.14
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李刚;朱壮晖;周亮;赵建龙
主分类号	A61N1/05(2006.01)I	IPC主分类号	A61N1/05(2006.01)I
专利有效期	一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法至一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法，该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层，结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极，基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性，且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点，可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性，有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比，具有工艺简单、成本低、可重复性强，设计灵活的优势。