专利详情

专利名称	电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法
申请号	CN200710047629.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101144152	公开（授权）日	2008.03.19
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王善成;易葵;郭世海
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I
专利有效期	电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法至电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于光学镀膜机的电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法，该设备包括蒸发速率探测部分、电子枪灯丝电压调节部分、开关量输入输出部分以及一台程序控制的计算机。该程序控制的计算机从速率探测器获得即时蒸发速率，据此得一控制信号，该控制信号经灯丝电压调节部分输出加载在灯丝两端对蒸发功率进行实时调节从而控制蒸发速率。在此过程中控制程序能接收外界的输入并做出相应的响应。本发明能对电子枪的蒸发速率进行自动反馈控制，整个设备在速度、精度及可靠性上大大提高，也提高了智能化程度。