专利详情

专利名称	一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法
申请号	CN200710045967.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101127308	公开（授权）日	2008.02.20
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	高相东;李效民;于伟东
主分类号	H01L21/368(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/368(2006.01)I
专利有效期	一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法至一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特点是将超声辐照技术与连续离子层吸附与反应方法相结合，薄膜沉积过程由若干个循环组成，每个循环包含四步：(1)阳离子前驱体溶液的吸附；(2)衬底超声辐照；(3)阴离子前驱体溶液的反应与吸附；(4) 衬底超声辐照。阳离子前驱体采用金属锌的无机盐或有机醋酸盐与络合剂配制而成，络合剂可选择乙二胺或氨水等；阴离子前驱体采用无机硫化物如硫化钠；衬底为普通玻璃、石英玻璃、ITO导电玻璃、单晶硅、蓝宝石或其他材料。本发明的特点是：所得ZnS膜层致密的 ZnS纳米粒子构成，粒子尺寸小至10-30nm；制作方法简单，成本低廉，无须加热或使用昂贵的真空设备，适合于规模化生产。