专利详情

专利名称	一种离子束运动截面的调整装置
申请号	CN201120533666.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202352612U	公开（授权）日	2012.07.25
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李海洋;曲丕丞;赵无垛;陈平;崔华鹏
主分类号	H01J49/40(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/40(2006.01)I;H01J49/02(2006.01)I
专利有效期	一种离子束运动截面的调整装置至一种离子束运动截面的调整装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型公开了一种离子束运动截面的调整装置，主要由前置电极、对电极a和b、后置电极组成。前置和后置电极用于减少对电极a、b的电场向外渗透。对电极a和对电极b上添加不同的电压。当离子束在对电极a、b运动的过程中，各个离子经过的路程相同，但因为对电极a、b的电压不同，离子在对电极a和b的运动时间不同，导致离子束离开对电极b时的截面发生变化。通过改变对电极a和b的接口形状和电压，使得离子束在离开对电极b时可以形成特定的形状。此外，根据需要可多级串联使用，对离子束进行多维度调节。