专利详情

专利名称	一种检测大口径光学系统波前的装置
申请号	CN201110344363.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102507155A	公开（授权）日	2012.06.20
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	汪利华;杨伟
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种检测大口径光学系统波前的装置至一种检测大口径光学系统波前的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置，包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统，其特点在于：将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前，由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光学系统的子孔径波前，通过数控转台和数控电动位移台控制标准平面镜运动，对子孔径进行扫描，并由干涉仪检测记录子孔径波前，使检测的子孔径波前覆盖整个大口径光学系统，由计算机控制和数据处理系统通过算法将子孔径波前拼接，得到大口径光学系统全孔径波前，完成对大口径光学系统波前检测。本发明结构简单、成本低，能检测≥1000mm的大口径光学系统波前像质。