专利详情

专利名称	一种尖劈型超透镜的制备方法
申请号	CN201210107639.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102621803A	公开（授权）日	2012.08.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;王长涛;赵泽宇;冯沁;刘凯鹏;胡承刚;黄成;杨磊磊;陶兴;张鸶懿
主分类号	G03F1/80(2012.01)I	IPC主分类号	G03F1/80(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I
专利有效期	一种尖劈型超透镜的制备方法至一种尖劈型超透镜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种尖劈型超透镜的制备方法，用于制造实现超分辨成像的尖劈型超透镜。其主要步骤为：在平整的紫外透明基底上依次涂布或沉积牺牲层和掩蔽层；在掩蔽层上涂光刻胶，曝光得到直线结构；将直线结构刻蚀传递到掩蔽层；用掩蔽层做掩蔽，对牺牲层进行各向同性刻蚀，使掩蔽层部分悬空；倾斜蒸镀多层膜；去除牺牲层、掩蔽层，得到尖劈型超透镜。本发明该方法只需要通过常规的光刻、IBE刻蚀、RIE刻蚀或湿法腐蚀、阴影蒸镀，就可以制备得到用于实现超分辨成像的尖劈型超透镜。