一种加速度计
- 申请号：CN201220488378.7
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院地质与地球物理研究所
- 公开(公开)号：CN202815008U
- 公开(公开)日：2013.03.20
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种加速度计 | ||
| 申请号 | CN201220488378.7 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN202815008U | 公开（授权）日 | 2013.03.20 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 俞度立;于连忠;杨长春 |
| 主分类号 | G01P15/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/08(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种加速度计 至一种加速度计 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。 | ||
交易流程
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