专利详情

专利名称	一种加速度计
申请号	CN201220488617.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202815009U	公开（授权）日	2013.03.20
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	俞度立;于连忠;杨长春
主分类号	G01P15/08(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/08(2006.01)I
专利有效期	一种加速度计至一种加速度计	法律状态
说明书摘要	一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本实用新型采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本实用新型的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本实用新型的稳定性。此外，本实用新型的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。