
电阻转换存储器装置及其制造工艺
- 申请号:CN201010127295.0
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号:CN101794808A
- 公开(公开)日:2010.08.04
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 电阻转换存储器装置及其制造工艺 | ||
申请号 | CN201010127295.0 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN101794808A | 公开(授权)日 | 2010.08.04 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明(设计)人 | 张挺;宋志棠;刘波;封松林;陈邦明 |
主分类号 | H01L27/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/24(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/763(2006.01)I |
专利有效期 | 电阻转换存储器装置及其制造工艺 至电阻转换存储器装置及其制造工艺 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明揭示了一种电阻转换存储器装置及其制造工艺,所述电阻转换存储器装置通过双浅沟道隔离形成二极管阵列,深度不同的第一浅沟道与第二浅沟道非正交相交;第一浅沟道将第一导电类型的重掺杂导电半导体线分隔开,形成多根半导体线;第二浅沟道则在同一重掺杂导电半导体线上方隔离形成多个二极管;二极管对应所需选通的电阻转换存储器单元。 |
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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