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电阻转换存储器装置及其制造工艺

  • 申请号:CN201010127295.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN101794808A
  • 公开(公开)日:2010.08.04
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 电阻转换存储器装置及其制造工艺
申请号 CN201010127295.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101794808A 公开(授权)日 2010.08.04
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张挺;宋志棠;刘波;封松林;陈邦明
主分类号 H01L27/24(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/763(2006.01)I
专利有效期 电阻转换存储器装置及其制造工艺 至电阻转换存储器装置及其制造工艺 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明揭示了一种电阻转换存储器装置及其制造工艺,所述电阻转换存储器装置通过双浅沟道隔离形成二极管阵列,深度不同的第一浅沟道与第二浅沟道非正交相交;第一浅沟道将第一导电类型的重掺杂导电半导体线分隔开,形成多根半导体线;第二浅沟道则在同一重掺杂导电半导体线上方隔离形成多个二极管;二极管对应所需选通的电阻转换存储器单元。

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