一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
- 申请号：CN200710037163.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN101016439
- 公开(公开)日：2007.08.15
- 法律状态：专利申请权、专利权的转移
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专利详情
| 专利名称 | 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 | ||
| 申请号 | CN200710037163.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101016439 | 公开（授权）日 | 2007.08.15 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 王良咏;张楷亮;宋志棠;封松林 |
| 主分类号 | C09G1/02(2006.01) | IPC主分类号 | C09G1/02(2006.01);B28D5/00(2006.01) |
| 专利有效期 | 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 至一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光浆液，此浆液包含pH调节剂、表面活性剂、水性介质及一种复合研磨颗粒。该复合研磨粒子是由基材颗粒碳化硼表面包覆一层粒子所构成。通过本发明提供的化学机械抛光浆液，蓝宝石衬底的抛光速率达到了180nm/min，表面粗糙度降低到了7.5 以下，蓝宝石的表面质量和加工效率得到了有效的提高。 | ||
交易流程
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