专利详情

专利名称	离子源进气实时控制系统及控制方法
申请号	CN200610098152.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1996546	公开（授权）日	2007.07.11
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	胡纯栋;刘胜;盛鹏;宋士花;刘智民;王绍虎
主分类号	H01J37/08(2006.01)	IPC主分类号	H01J37/08(2006.01);H01J37/04(2006.01);H01J37/00(2006.01);H01J27/02(2006.01);H05H1/00(2006.01)
专利有效期	离子源进气实时控制系统及控制方法至离子源进气实时控制系统及控制方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种离子源进气实时控制系统及控制方法。系统分为反馈信号产生与传输、信号处理与控制和控制传输与执行三大部分。离子饱和流传感器伸入到离子源内部，可控气阀安装在离子源侧面。根据离子饱和流传感器测得的离子饱和流信号和设置参考信号的差值调节离子源的进气量，以此来减小差值，控制可控气阀两端的电压，使得弧流逐渐逼近参考值。本发明可以使弧电源的工作模式简单，电源系统提高了可靠性和易于维护性；通过对进气量的调节，按照需要对等离子体进行加料，减轻了整个系统的真空系统的负担；可以获得稳定的等离子体、长脉冲运行和稳态均匀的等离子体密度，有利于系统引出高质量的束流。