专利详情

专利名称	扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
申请号	CN200610147846.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1994860	公开（授权）日	2007.07.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	金大重;李昕欣
主分类号	B81B3/00(2006.01)	IPC主分类号	B81B3/00(2006.01);B81C5/00(2006.01);B81C1/00(2006.01);G01N13/00(2006.01)
专利有效期	扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用至扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种工作在扭转模态下的谐振式微机械悬臂梁传感器及其电磁激励结构、制作方法及应用。其特征在于通过采用与悬臂梁扭转谐振模态的振形相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与悬臂梁扭转方向相同的洛仑兹力力矩激励起悬臂梁的扭转模态，即依据扭转模态振形曲线的极值位移点和不发生位移的振动节点位置布置驱动线圈，使交变驱动电流在各处均产生与悬臂梁扭转方向相同的洛仑兹力力矩，使驱动方式与扭转模态的振形完全匹配。本发明特点是结构简单、制作方便、容易实现。所述的传感器用于对肝癌早期预警的AFP抗原痕量检测一阶和二阶的扭转模态检测分辨率分别为3×10^－14克和9×10^－15克。