专利详情

专利名称	一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法
申请号	CN200510123888.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1972545	公开（授权）日	2007.05.30
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	欧毅;李大勇
主分类号	H05B33/10(2006.01)	IPC主分类号	H05B33/10(2006.01);H05B33/26(2006.01);H01L51/50(2006.01)
专利有效期	一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法至一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1.在硅基片表面上光刻出金属阳极图形；2.在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铬/银薄膜；3.超声剥离；4. 反转光刻阴极隔离柱图形，完成制作。OLED具有可实现柔软显示、色彩鲜艳、响应速度快、抗低温及工艺简单等优点，可广泛应用于视频显示领域。本发明方法具有成本低和工艺简单的优点。