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一种具有线性磁电阻效应的磁性多层膜及其用途

  • 申请号:CN200510123229.5
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
  • 公开(公开)号:CN1967891
  • 公开(公开)日:2007.05.23
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种具有线性磁电阻效应的磁性多层膜及其用途
申请号 CN200510123229.5 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1967891 公开(授权)日 2007.05.23
申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 魏红祥;韩秀峰;赵静;杜关祥;王磊;王荫君
主分类号 H01L43/08(2006.01) IPC主分类号 H01L43/08(2006.01);G01R33/09(2006.01);G01D5/16(2006.01);G11B5/127(2006.01);H01F10/00(2006.01);H01F10/32(2006.01)
专利有效期 一种具有线性磁电阻效应的磁性多层膜及其用途 至一种具有线性磁电阻效应的磁性多层膜及其用途 法律状态 授权
说明书摘要 本发明涉及一种具有线性磁电阻效应的磁性多 层膜,其为基于磁矩垂直于水平面的磁性材料的自旋阀磁电阻 器件,包括:一衬底,其上依次沉积了缓冲层、第一磁性层、 非磁金属导电层或者绝缘层、第二磁性层、反铁磁钉扎层及覆 盖层,所述的第一磁性层的磁矩方向为竖直方向,第二磁性层 的磁矩方向为水平方向,即第一磁性层的磁矩方向与第二磁性 层的磁矩方向相互垂直。本发明提供的对磁场呈线性响应的磁 性多层膜可用于磁场传感器和磁头。使用了本发明提供的磁性 多层膜的磁场传感器克服了一般传感器只能探测水平方向磁 场变化的缺点,在不改变传感器位置和方向的前提下,可以实 现垂直方向磁场的测量。

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