专利详情

专利名称	一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法
申请号	CN200910098518.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101885609A	公开（授权）日	2010.11.17
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	杨晔;张宇龙;赵俊华;张贤鹏;宋伟杰;谭瑞琴;崔平
主分类号	C04B35/622(2006.01)I	IPC主分类号	C04B35/622(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法至一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法，其特征在于步骤依次为：(1)采用氧化锌基纳米粉体，经过30～150MPa的单轴模压成型，保压时间为30～300s；(2)将步骤(1)中的样品经150～300MPa的冷等静压，保压时间为60～600s；(3)将步骤(2)中的样品放入箱式炉中温烧结，烧结温度为800～1300℃，升温速率为0.5～10℃/min，烧结时间为4～40h，降温速率为1～10℃/min；(4)将步骤(3)中的样品经过切割、打磨、抛光，成规定尺寸；所述的氧化锌基纳米粉体是采用掺杂了硼、铝、镓、铟或者锡元素的掺杂氧化锌纳米粉体，掺杂量为0～18a?t％。靶材制备设备简单，成本低，适合于工业化生产。