专利详情

专利名称	一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器
申请号	CN200610117703.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1963450	公开（授权）日	2007.05.16
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	殷庆瑞;余寒峰;惠森兴;赵坤宇
主分类号	G01N13/10(2006.01)	IPC主分类号	G01N13/10(2006.01);G01N29/24(2006.01)
专利有效期	一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器至一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围：2－30kHz，比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz －几十MHz)低1－3个数量级，它基于扫描探针声学显微镜 (SPAM)的低频高分辨率的工作模式，用该探测器使成像系统分辨率可达到5nm，图像清晰，对比度高。