专利详情

专利名称	微机械热电堆红外探测器及其制作方法
申请号	CN200610118474.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1960017	公开（授权）日	2007.05.09
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;杨恒昭;李铁;王翊;王跃林
主分类号	H01L35/32(2006.01)	IPC主分类号	H01L35/32(2006.01);H01L35/34(2006.01);G01J1/42(2006.01);G01J5/12(2006.01)
专利有效期	微机械热电堆红外探测器及其制作方法至微机械热电堆红外探测器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其制作方法，其特征在于作为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面腐蚀衬底形成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区，支撑臂连接框架和红外吸收区并承载热电堆；中间悬浮的红外吸收层带有不同形状的腐蚀开口，作为干法刻蚀工作气体进入衬底进行反应的通道。采用了标准CMOS工艺中最常见的材料，便于实现和信号处理电路的集成。使用了选择性很好的干法刻蚀形成红外吸收层，相比传统的湿法腐蚀不仅简化了工艺流程，降低了对光刻机的要求；同时不需考虑对其它材料的破坏，拓宽了探测器可用材料的范围。