专利详情

专利名称	带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法
申请号	CN200610118053.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1949508	公开（授权）日	2007.04.18
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	叶振华;周文洪;廖清君;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军
主分类号	H01L25/18(2006.01)	IPC主分类号	H01L25/18(2006.01);H01L27/144(2006.01);H01L21/822(2006.01)
专利有效期	带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法至带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。