专利详情

专利名称	单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法
申请号	CN200610117006.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1945284	公开（授权）日	2007.04.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	张永刚;李爱珍;齐鸣;封松林
主分类号	G01N21/25(2006.01)	IPC主分类号	G01N21/25(2006.01);H01S5/00(2006.01)
专利有效期	单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法至单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种单片双芯或多芯半导体激光气体传感器，其特征在于它由封装于同一管壳热沉上的制作于同一单片衬底上的激光器芯组成的单片双芯或多芯激光器、用于热沉温度控制的热电控温电路、时分驱动电路、用于吸收和参比光信号探测的光电探测器、放大及时分解调电路、以及比较电路和显示输出电路组成。本发明利用目标气体对吸收激光器产生的特定波长激光的吸收特性进行气体浓度测量，也利用目标气体对参比激光器产生的相近特定波长激光的透过特性作为参比信号以抵消其他损耗和波动的影响。此传感器的核心是单片双芯或多芯半导体激光器和一只光电探测器，易于一体化、小型化和集成化；是一种普适的采用半导体激光的气体传感器，通用性强。