专利详情

专利名称	可调谐分布反馈量子级联激光器的波导与光栅的结构及所述光栅的制备方法
申请号	CN200610030991.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1945910	公开（授权）日	2007.04.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐刚毅;李耀耀;李爱珍
主分类号	H01S5/12(2006.01)	IPC主分类号	H01S5/12(2006.01);H01S5/20(2006.01);H01S5/343(2006.01);H01S5/00(2006.01)
专利有效期	可调谐分布反馈量子级联激光器的波导与光栅的结构及所述光栅的制备方法至可调谐分布反馈量子级联激光器的波导与光栅的结构及所述光栅的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种旨在获得低阈值电流密度、高边模抑制比的可调谐分布反馈量子级联激光器的波导和光栅结构，并发明了实现设计结构要求的激光器一级光栅的制备方法。所述的激光器波导与光栅结构是一种利用一个深的一级光栅和一个在光栅下方的薄的重掺杂半导体层构成波导中的限制结构。所述的光栅腐蚀技术是利用InGaAs/InP结构作为光栅的腐蚀牺牲层，选择不同的腐蚀液配比，获得深度大范围可调，精度可控的光栅结构。