专利详情

专利名称	掩模传输系统四象限对准装置
申请号	CN200510105260.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1940734	公开（授权）日	2007.04.04
申请（专利权）人	中国科学院自动化研究所	发明（设计）人	谭民;徐德;王秀青;赵晓光;刘云;汪建华
主分类号	G03F9/00(2006.01)	IPC主分类号	G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01)
专利有效期	掩模传输系统四象限对准装置至掩模传输系统四象限对准装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明掩模传输系统四象限对准装置，可以实现掩模板位置与姿态信息的测量，据此通过夹持掩模板的掩模传输机械手调整掩模板，达到所期望的位置和姿态。该装置包括两个激光器、标有两个米字形对准标记的掩模板、两个滤光片、接收米字形光斑的两个四象限光电探测器以及与之连接的信号调理电路、A/D转换器和完成预对准的掩模传输机械手和驱动机械手在平面中沿x、y方向平动及绕z轴旋转的驱动电机、测量掩模传输机械手x、y方向位置的光栅尺、控制器等。本发明装置结构简单、紧凑、对准精度高。