专利详情

专利名称	一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法
申请号	CN201210241071.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102732844A	公开（授权）日	2012.10.17
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	柳存定;李斌成;孔明东;郭春
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I
专利有效期	一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法至一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法，通过建立真空环境中的镀膜模型，研究行星转动夹具上平面或球面光学元件镀膜后薄膜厚度分布。通过将行星转动夹具中光学元件的镀膜过程等效成简单转动夹具中的镀膜过程，设计行星转动夹具中镀膜均匀性修正挡板的初始形状。利用计算机优化修正挡板弧长放大倍数直至薄膜厚度均匀性达到最优结果，获得球面光学元件薄膜厚度均匀性修正挡板的实际形状。本发明可以实现大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件薄膜厚度均匀性的控制，从而获得大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件多层膜光谱特征的均匀性。