专利详情

专利名称	置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片
申请号	CN200610117105.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1936626	公开（授权）日	2007.03.28
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	叶振华;何力;胡晓宁;周文洪;吴俊;巫艳;丁瑞军
主分类号	G02B5/20(2006.01)	IPC主分类号	G02B5/20(2006.01);G01J5/00(2006.01)
专利有效期	置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片至置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的优点是：具有高均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格控制作为原位滤光层的Hg_1－ xCd_xTe的组分来实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且非常可靠和稳定。