专利详情

专利名称	背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法
申请号	CN200610117106.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1933149	公开（授权）日	2007.03.21
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	叶振华;周文洪;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军;何力
主分类号	H01L25/00(2006.01)	IPC主分类号	H01L25/00(2006.01);H01L25/18(2006.01);H01L27/14(2006.01);H01L21/00(2006.01);G01J1/42(2006.01);G02B3/00(2006.01)
专利有效期	背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法至背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。