专利详情

专利名称	一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法
申请号	CN201210237087.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102721478A	公开（授权）日	2012.10.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	田雨;饶学军;饶长辉
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法至一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法，该方法的步骤为：（1）记录曲率波前传感器在焦平面两侧对称位置的离焦光斑I1(r)（焦点内侧）与I2(r)（焦点外侧），并生成曲率波前传感器信号S0(r)作为初始输入；（2）根据曲率波前传感器信号估计波前像差（3）加入边界条件限制得到像差（4）由估计曲率波前传感器信号S(r)；（5）结合光瞳限制得到修正后的曲率波前传感器信号Sest(r)；（6）根据结合离焦量l计算离焦光斑Iest,1(r)；（7）比较I1(r)与Iest,1(r)的相似性，得到迭代停止判据，若条件满足则输出否则转向步骤（2）继续迭代。本发明利用在波像差与曲率波前传感器信号间的反复迭代，可以减少曲率波前传感器原理性的误差，得到高精度的波前测量结果。