专利详情

专利名称	一种微型电容层析成象传感器
申请号	CN200510093326.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1920545	公开（授权）日	2007.02.28
申请（专利权）人	中国科学院工程热物理研究所	发明（设计）人	刘石;李惊涛;董向元;赵树华
主分类号	G01N27/00(2006.01)	IPC主分类号	G01N27/00(2006.01);H05K9/00(2006.01)
专利有效期	一种微型电容层析成象传感器至一种微型电容层析成象传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种电容层析成象微型传感器，主要由测量电极、隔离层、端屏蔽和屏蔽罩组成。测量电极等间隔或不等间隔地排列，相邻电极之间设置非常细微的绝缘隔离层。多个测量电极形成毛细管的周壁，组合成精密的流动或传热通道。此环形通道即作为ECT传感器，也作为测量对象的流动管道，具有所需的传热和流动特性，如常规金属管壁所具有的热阻和摩擦系数等。作为可选设置，测量电极两端可设有端屏蔽，也可有一圆筒形屏蔽罩将整个传感器包围于内，端屏蔽和屏蔽罩接地保持零电势。该微型传感器可以在不干扰测量对象流动和传热，不改变测量对象热力特性的前提下，满足微尺度下两相流流动参数测量的要求，例如能够测量微米级的液膜厚度。