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锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法

  • 申请号:CN200610030144.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
  • 公开(公开)号:CN1908229
  • 公开(公开)日:2007.02.07
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法
申请号 CN200610030144.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1908229 公开(授权)日 2007.02.07
申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 侯云;黄志明;葛玉建;蔡愚;禇君浩
主分类号 C23C18/02(2006.01) IPC主分类号 C23C18/02(2006.01);C23C18/08(2006.01)
专利有效期 锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法 至锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明书提供了一种湿化学法制备锰钴镍 (MnCoNi)薄膜材料的新型方法,完全改变了传统的制备工艺。 此方法可以在较低温度下制备出大面积均匀、稳定的MnCoNi 薄膜热敏材料,并可以与硅工艺兼容,突破传统陶瓷器件的局 限性,以满足当代航空航天技术对该类器件的要求。

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