专利详情

专利名称	石墨烯纳机电系统开关器件
申请号	CN200910091396.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101993035A	公开（授权）日	2011.03.30
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	张广宇;时东霞;史志文;杨蓉;王毅
主分类号	B82B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B1/00(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I
专利有效期	石墨烯纳机电系统开关器件至石墨烯纳机电系统开关器件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种石墨烯纳机电系统开关器件，包括：一U形沟槽结构；制作于该U形沟槽结构两侧边端部的两个金属电极，该金属电极作为源极；制作于该U形沟槽结构沟内底面中心的一接触电极，该接触电极作为漏极；基底作为栅极，源极与栅极以及漏极与栅极之间具有一绝缘层；两端分别固定于两源极的一石墨烯条带，该石墨烯条带悬浮于漏极之上，在该石墨烯条带发生形变时与漏极连通或关断。利用本发明，实现了器件的小型化，从而为将来这类器件的更高程度的集成创造了条件，非常有利于器件的集成。